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Pompes volumétriques à soufflets pour le semi-conducteur série FS - Rapidité de cadence de coups
Une augmentation de la cadence des coups (240 coups/min) permet la réduction de la taille, du poids et du coût de fabrication de la pompe ainsi qu'une diminution de l'amplitude du mouvement des soufflets.
Large gamme de températures de liquides / hauteur de refoulement importante
Etant donné que la pompe peut transférer des fluides compris entre 5 à 180°C avec des pressions de refoulement de 5 bars, la pompe est utilisable non seulement pour les procédés de lavage et les procédés CMP mais aussi pour le transfert de produits chimiques.
Facilité de maintenance
Le détecteur de proximité peut être remplacé sans démonter la pompe et le resserrage régulier de la boulonnerie n'est pas nécessaire, ce qui réduit le coût de maintenance.